| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZsFDuKxG/CD86Q |
| Repositório | sid.inpe.br/marciana/2004/07.02.14.32 |
| Última Atualização | 2008:03.28.19.10.58 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/marciana/2004/07.02.14.32.49 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.28.41 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-10792-PRE/6248 |
| DOI | 10.1063/1.348774 |
| ISBN/ISSN | 0021-8979 |
| ISSN | 0021-8979 |
| Chave de Citação | VahediLieAlvVerBir:1991:OnCoMo |
| Título | A one-dimensional collisional model for plasma-immersion ion-implantation  |
| Projeto | Física básica de plasma / Simulação, experimentos e instrumentação por plasmas espaciais / Implantação iônica por imersão em plasma (IIIP) |
| Ano | 1991 |
| Mês | Feb. |
| Data de Acesso | 21 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 659 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Vahedi, V. 2 Lieberman, M. A. 3 Alves, Maria Virginia 4 Verboncoeur, J. P. 5 Birdsall, C. K. |
| Grupo | 1 2 3 LAP-INPE-BR |
| Afiliação | 1 University of California, Plasma Theory and Simulation Group 2 University of California, Plasma Theory and Simulation Group 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais, Laboratório Associado de Plasma (INPE.LAP) 4 University of California, Plasma Theory and Simulation Group 5 University of California, Plasma Theory and Simulation Group |
| Revista | Journal of Applied Physics |
| Volume | 69 |
| Número | 4 |
| Páginas | 2008-2014 |
| Histórico (UTC) | 2006-09-28 22:36:10 :: administrator -> sergio :: 2008-01-07 12:49:54 :: sergio -> marciana :: 2008-03-28 19:10:59 :: marciana -> administrator :: 2018-06-05 01:28:41 :: administrator -> marciana :: 1991 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | PLASMA Plasma imersion ion implantation One dimensional model PLASMA Implantação iônica por imersão em plasma Modelo dimensional |
| Resumo | Plasma-immersion ion implantation (also known as plasma-source ion implantation) is a process in which a target is immersed in a plasma and a series of large negative-voltage pulses are applied to it to extract ions from the plasma and implant them into the target. A general one-dimensional model is developed to study this process in different coordinate systems for the case in which the pressure of the neutral gas is large enough that the ion motion in the sheath can be assumed to be highly collisional. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > A one-dimensional collisional... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZsFDuKxG/CD86Q |
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZsFDuKxG/CD86Q |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | one dimensional.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator marciana sergio |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | allowpublisher allowfinaldraft |
| Permissão de Leitura | allow from all |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 4 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |